• 晶圆视觉检测,晶圆外观缺陷检测方案

    发布日期:2021-05-17

    下面给大家介绍一例晶圆视觉检测的方案,检测内容主要为破损,裂粒,气孔,镍层不良及尺寸。 一:检测内容及要求 检测工件面积: 长1.44mm*宽1.43mm*高1.65mm的样件的外观、尺寸检测 检测内容:破损,裂粒,气孔,镍层不良 1:底部正光检...